工業制氧設備的原理是利用空氣分離技術，先將空氣以高密度收縮，再利用空氣中各成分的凝結點，使其在一定溫度下進行氣液分離，再進一步精餾得到.工業用氧通常是通過這種物理方法得到的。制氧機又稱空氣分離設備。根據產品數量的不同，可分為800m3/h以下的小型設備；1000-6000m3/h的中型設備；10000m3/h以上的大型設備。根據產品數量的不同，所謂的800m3/h，1000-600m3/h表示制氧設備從空分塔的每小時產值。我國制氧設備大致由空氣壓縮機、預冷設備、純化設備、空分塔等組成。